氯基硅烷，是一类硅烷SiH₄中的氢原子被氯原子取代后形成的化合物，具有独特的化学性质和广泛的应用价值，通式为HnSiCl4-n（n=0,1,2,3） ，含氯量低时为气体，较高时为液体，呈现无色或黄色。
 
氯基硅烷化学性质活泼，能与含活泼氢的化合物，如水、醇、酚、硅醇、有机酸等激烈反应，释放出氯化氢；与有机金属化合物反应时，氯原子会被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。在制备方面，可由硅粉与氯化氢在290~400℃反应制取，也能通过硅粉与氢和氯化氢的混合物，在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来获得。
 
在半导体制造领域，氯基硅烷是生产高纯硅的关键原料，对芯片制造意义重大。通过化学气相沉积（CVD）工艺，高纯度的氯基硅烷能形成高质量的硅薄膜，提升芯片性能与稳定性。在太阳能电池板生产中，它有助于制造高效硅基太阳能电池，提高光电转换效率，推动清洁能源发展。在有机合成领域，它是重要试剂，常用于合成有机硅化合物，如与醇类反应生成硅醚，在保护羟基、有机合成中间步骤及药物合成中广泛应用。另外，它还用于制备硅橡胶和硅油等有机硅材料，硅橡胶凭借优异的耐热性、耐寒性和耐候性，在航空航天、汽车、电子等领域广泛应用；硅油则在化妆品、润滑剂、消泡剂等产品中发挥重要作用。
 
常用的氯硅烷单体有甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、苯基三氯硅烷等。随着科技进步，氯基硅烷的应用领域还在不断拓展，未来有望在更多领域发挥关键作用。

氯基硅烷

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